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          Hammer質量流量計

          更新時間:2021-08-17

          簡要描述:

          國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

            免費咨詢:86-10-87241391

            發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

          一、Hammer質量流量計產品特點

          · 測量質量流量

          · 無需溫度和壓力補償

          · 結構緊湊

          · 精度高

          · 工作壓力高

          · 響應時間快

          · 重復性高

          二、Hammer質量流量計產品簡介

          本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

          三、Hammer質量流量計技術參數

          型號

          質量流量計/質量流量控制器

          流量范圍(N2)

            10SCCM~100SLPM

            響應時間

            <2 sec

          精準度

            ≤±1% FS

            重復精度

            ±0.2% FS

            輸入/輸出信號

          0~5 Vdc OR 4~20 mA

          供電電源

            ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

           耐壓

            <100bar

          工作環境溫度

            0~50 °C

          漏率

            1*10E-9 atm cc/sec

          使用范圍

            2 ~ 100%

           

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