更新時間：2019-08-19
國產質量流量計耐壓100bar（產品在50MPa壓力下通過打壓測試），可測量腐蝕性氣體，結構緊湊，重復性高，響應時間快，性價比高，可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM，質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。
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一、國產質量流量計產品特點
· 測量質量流量
· 無需溫度和壓力補償
· 結構緊湊
· 精度高
· 工作壓力高
· 響應時間快
· 重復性高
二、國產質量流量計產品簡介：
本體耐壓100bar，可測量腐蝕性氣體，結構緊湊，重復性高，響應時間快，性價比高，可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM，質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。
三、國產質量流量計技術參數
| 型號 | 質量流量計/質量流量控制器 |
| 流量范圍(N2) | 10SCCM~100SLPM |
| 響應時間 | <2 sec |
| 精準度 | ≤±1% FS |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA |
| 耐壓 | <100bar |
| 工作環境溫度 | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范圍 | 2 ~ 100% |
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