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          linetech氣體質量流量控制器

          更新時間:2019-06-14

          簡要描述:

          韓國linetech氣體質量流量控制器耐壓90bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。韓國LINETECH經濟型氣體質量流量控制器Z大流量可測到300SLPM,質量流量計的Z大流量可測到1000SLPM。

            免費咨詢:86-10-87241391

            發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

          一、linetech氣體質量流量控制器產品特點

          • 測量質量流量
          • 無需溫度和壓力補償
          • 結構緊湊
          • 精度高
          • 工作壓力高
          • 響應時間快
          • 重復性高

          二、linetech氣體質量流量控制器技術參數

          型號

          質量流量計

          質量流量控制器

          流量范圍(N2)

            10SCCM~1000SLPM

            10SCCM ~ 300slpm

            響應時間

            <2 sec

            <2 sec

          精準度

            ≤±1% FS

            ≤±1% FS

            重復精度

            ±0.25% FS

            ±0.25% FS

            輸入/輸出信號

          0~5 Vdc OR 4~20 mA

            0~5 Vdc OR 4~20 mA

          供電電源

            ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

            ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

           耐壓

            <90bar

            0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,

          100-300SLPM,<15bar

          工作環境溫度

            0~50 °C

            0~50 °C

          漏率

            1*10E-9 atm cc/sec

            1*10E-9 atm cc/sec

          使用范圍

            2 ~ 100%

            2~ 100%


          三、linetech氣體質量流量控制器接口尺寸


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