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          艾里卡特MCE系列質量流量控制器助力精密真空鍍膜氣體流量控制
          發布時間:2017-09-26   點擊次數:1687次

          艾里卡特MCE系列質量流量控制器集成于的真空設備供應商MDC Vacuum Products, LLC公司的XpressStick™系列質量流量控制器氣體棒中。能精密控制氣體流量上至20SLPM、自帶屏幕顯示的MCE系列質量流量控制器使得氣體連接模塊帶有氣體編輯程序功能,從而直接將壓縮氣體通入真空腔體內。

          艾里卡特MCE系列質量流量控制器的測量與控制量程范圍從0-0.5 sccm一直到0-20 slpm,僅需20~50毫秒即可到達設定值流量,有效消除了于真空鍍膜過程中的靶材中毒。

          XpressStickRelease一體式設計的XpressStick質量流量控制器氣體棒消除了原本包括氣體混合、壓力控制、精密調節、真空腔等復雜的硬件系統,其精密的氣體流量控制系統使得用戶完成全套真空鍍膜過程只需簡單的一個步驟。專門設計用于高純真空應用的XpressStick質量流量控制器氣體棒也有適用于腐蝕性氣體的不銹鋼材質系列。

          艾里卡特MCE系列質量流量控制器無需預熱、瞬間啟動的特點使得XpressStick在短短一秒鐘內就能開始控制真空鍍膜過程系統的流量,實時測量顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度參數,并將運用溫度與壓力對流量參數進行充分補充。氣體模塊程序直接通過艾里卡特MCE系列質量流量控制器自帶的屏幕顯示,并可直接通過屏幕按鈕操作切換氣體種類。

          MDC Vacuum Products, LLC公司副總裁James Moore表示:“控制響應速度快、度高、性能可靠是我們選擇質量流量控制器合作品牌的關鍵因素。根據過往使用Alicat質量流量控制器的經驗,我們十分確定Alicat能全部滿足以上三點因素,并且Alicat質量流量控制器自帶屏幕顯示,方便于我們的一體化設計。”

          艾里卡特質量流量控制器、壓力控制器、真空氣體流量控制器廣泛應用于真空鍍膜領域。

          北京漢默科技有限公司

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